無駄なエネルギーの消費をやめましょう：なぜ金製の反射板が重要なのか 半導体製造において、無駄に消費される1ワットのエネルギーは、実質的に設計上の欠陥と言えます。考えてみてください。高出力の加熱素子を使っても、その赤外線エネルギーの多くは無駄に散逸してしまいます。エネルギーは後方や側面に向かって飛ん...

なぜクォーツ製のシールドを持つ赤外線ランプがファブで重要なのか もし、半導体の加工に依然として熱風循環方式を利用しているのであれば、それはまるで待つしかない状況です。ワークピースが温まり始める前に、チャンバ内の空気全体を加熱しなければなりません。これは非常に時間がかかり、面倒な作業です。 一方、赤...

熱を無駄にしないで：なぜ金コーティングされた反射板が重要なのか 半導体製造工場では、熱がすべてです。しかし問題は、通常のIRランプはエネルギーをあちこちに散らしてしまうという点です。適切な反射板がなければ、支払った電力が単に装置の内部に消えてしまいます。これは明らかな無駄遣いです。 だからこそ、私...

カーボンファイバーを利用して、スマートファブを本当にスマートなものにする方法 新しいスマートファブを構築する際、熱源として単なる「普通のヒーター」では不十分だということは、おそらくすでにご存知でしょう。単に熱を発するだけでは不十分です。そこで役立つのがカーボンファイバー赤外線ランプです。これらは、...

単純な電球のせいでウエハーのバッチが台無しになってはいけません。 半導体製造工場で照明や加熱装置を更新するとき、単に古い電球を新しいものに交換するだけではありません。そんなことはあり得ません。 実際には、微小なアークや漏れ電流が発生すれば、一連のウエハーがダメになってしまう可能性があります。これは...

爆発を起こさずに熱を供給する 半導体製造の現場で働く人なら、この問題がどれほど深刻かよくわかるでしょう。化学的な洗浄工程は必要ですが、そこに使われる溶剤は、扱い方次第で簡単に火災を引き起こしてしまいます。 通常の赤外線ランプをその中に使ってしまえば、事故が起こるのは時間の問題です。不安定な蒸気を扱...

ファブラボ用の交換フィラメント：仕様、科学原理、そしてその耐久性 私たちは、この交換フィラメントを、実際に使われる場所であるファブラボ向けに設計しました。つまり、ランプが不安定になってはいけない場所です。日々、安定した出力を維持し続ける必要があります。 私たちの姿勢は、国際的なブランドと直接競争す...

はじめに さっそく本題に入りましょう。私たちは、性能を重視するエンジニアのために、高性能な真空オーブン用ヒーターを製造しています。 私たちの製品の核心は、短波赤外線ハロゲンランプです。これは、高価な輸入品と互換性のあるように設計されています。目的は単純です。高価なブランド名に支払う必要なしに、同等...

ファブ内では、フォトレジストの焼成は単なるアドバイスではなく、必須のプロセスです。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変動するだけで、製品の寸法に影響が出たり、不純物が残ったりして、多くの製品が廃棄処分になってしまいます。石英ヒーターチューブこそが、シフトを重ねても一定の温度を維持するための重...

フレキシブルディスプレイラインにおける熱制御の重要性 フレキシブルディスプレイラインでは、熱制御が重要な要素となります。たとえば、2°Cの変動があるソフトベークはCDの均一性を損ないます。温度が高すぎるまたは低すぎるハードベークは、レジストプロファイルを予測不可能にし、エッチング転送が不均一になり...