単純な電球のせいでウエハーのバッチが台無しになってはいけません。
半導体製造工場で照明や加熱装置を更新するとき、単に古い電球を新しいものに交換するだけではありません。そんなことはあり得ません。
実際には、微小なアークや漏れ電流が発生すれば、一連のウエハーがダメになってしまう可能性があります。これは誰も望むことのない悪夢です。
だからこそ、私たちはリスクを冒しません。私たちの工場を出るすべてのランプは、100％の耐圧試験および絶縁抵抗試験を受けます。一つ残らずです。
なぜすべてのランプに対して厳しいテストを行うのか？
私たちは「抽出検査」を好みません。数個のランプを無作為に選んでテストし、最善を願うだけでは不十分です。
代わりに、私たちはすべてのランプを限界まで試します。実際の使用時よりもはるかに高い電圧を負荷させるのです。なぜかというと、それによって、石英中の微細な亀裂や不完全なセalingなど、隠れた欠陥がすぐに発見されるからです。
問題を今発見しておく方が、後で機械が壊れるよりずっと良いのです。
また、絶縁抵抗も厳しくチェックします。フィラメントと外殻の間の距離をメガオーム単位で測定します。もしその抵抗値が基準以下になったら、そのランプは使えないのです。これが、電流が装置のシャーシ内に漏れ込まないようにする唯一の方法です。
お客様の工場に安心を
ほとんどのクリーンルーム用機器は、非常に敏感な接地システムに依存しています。もしランプの絶縁性能が悪ければ、電気ノイズが漏れたり、接地不良が起きたりします。
こうしたテストを徹底的に行うことで、お客様の電気的安全性を確実に保ちます。問題のあるランプは交換され、ブレーカーが切れたり、センサーに干渉が起きたりすることはありません。ただ純粋な光だけが得られます。
注意点
ただし、絶縁性能が完璧であることは確認できても、物理法則を変えることはできません。
高圧ランプは非常に高温になります。本当に高温です。
私たちのテストを行っても、実際に使用する装置がその高温に耐えられるかどうかは、ご自身で確認する必要があります。もし装置の外殻がその熱に耐えられない場合、時間が経つにつれて配線の絶縁層がダメになってしまいます。
工場を出る時点でランプがどれだけ清潔であっても、外殻が熱を逃がせなければ、結局は熱が勝ってしまいます。