ルビー赤外線ヒーティングバルブ 230V

リソグラフィ工程ではこうした状況がよくある。ベーク温度が0.5℃ずれるだけで、クリティカルディメンションの制御が仕様外になる。ルビー赤外線ヒーターランプは230V仕様で、この熱プロファイルを狙った通りに維持するために設計されている。ソフトベークでもハードベークでも、安定的に連続稼働可能だ。 内部構...