爆発を起こさずに熱を供給する
半導体製造の現場で働く人なら、この問題がどれほど深刻かよくわかるでしょう。化学的な洗浄工程は必要ですが、そこに使われる溶剤は、扱い方次第で簡単に火災を引き起こしてしまいます。 通常の赤外線ランプをその中に使ってしまえば、事故が起こるのは時間の問題です。不安定な蒸気を扱う際には、単に最善を願うだけでは不十分です。だからこそ、熱を適切な場所に保ち、火花が化学物質の近くに行かないようにする必要があります。
悪影響を与えるものを防ぐ
私たちは単に「ランプを接続する」だけでは済みません。そうすれば事故が起こります。 代わりに、赤外線放射体を石英やサファイアでできた頑丈なケースに包みます。これはまるでハイテクな盾のようなものです。これにより、高温のフィラメントと部屋中に漂う可燃性蒸気との間に物理的な壁ができます。 しかし、端の部分が弱点になりがちです。それを解決するために、強化されたケーブルコネクタや高耐熱性のフッ素ゴム製のガスケットを使用します。これにより、爆発性の空気が外に漏れ出ず、不活性ガスが適切な場所に留まります。
正しく熱を管理する
製造現場では、「十分に近い」というだけでは不十分です。温度を正確に制御する必要があります。 私たちは短波長の赤外線ランプを使用します。なぜかというと、これにより基板に素早く熱が伝わります。これにより、チャンバー全体がオーブンのようになることなく、必要な熱を得ることができます。また、ワット数を適切に調整することで、過度に高温になるのを防ぎます。 注意すべき点は空気の流れです。これらの高密度のランプは、端の部分が非常に熱くなります。もし換気システムが十分でなければ、シールが壊れたり、ケーブルの絶縁体が溶けたりしてしまいます。これは単純なミスですが、大きな被害を招く可能性があります。
実際の現場での利用
最良な点は、これらの装置がそのまま取り替え可能であるということです。工場全体を再設計する必要はありません。 私たちは接地されたケースや防爆配線を使用して、静電気の発生を防ぎます。電気系統を化学物質から完全に分離することで、火花が発生するリスクをほぼゼロにします。 これにより、高温の洗浄処理を行っても、施設の火災報知システムが誤作動する心配がなく、安心して夜を過ごすことができます。