フレキシブルディスプレイラインにおける熱制御の重要性
フレキシブルディスプレイラインでは、熱制御が重要な要素となります。たとえば、2°Cの変動があるソフトベークはCDの均一性を損ないます。温度が高すぎるまたは低すぎるハードベークは、レジストプロファイルを予測不可能にし、エッチング転送が不均一になります。乾燥ランプは単なる熱源ではなく、適切なプロセス機器として機能する必要があります。
内部で重要なこと
私たちは、迅速かつ非接触加熱のために石英光学系を用いて、NIRをベースにした乾燥ランプを構築しました。照射領域全体で、ウェハーレベルの均一性は±0.1°Cを維持し、すべてのソフトベークとハードベークが同じ熱バジェットを持ちます。クリーンルームクラス1–100に設計されており、安定運転下での低アウトガスとゼロ粒子生成を実現しています。このランプは、予測可能な出力で24時間365日稼働可能で、ロットごとの再現性を保持します。
フレキシブルディスプレイ工場での効果
フレキシブルディスプレイ工場では、基板が薄く熱に敏感です。このランプは迅速に立ち上がり、制御を厳密に保ちますので、スタックにストレスをかけることなくサイクルタイムを短縮できます。フォトレジストプロファイルは安定しており、オーバーレイを規格内に保ち、エッチングのクリティカルディメンション制御も一貫性を持ちます。エネルギー使用量は、ランプがターゲットエリアのみを加熱するため減少し、再作業ロットが少なくなることで廃棄物も減ります。
注意点
ランプは、クリーンで安定した電源供給と統合ポイントでの適切な熱管理を必要とします。ほとんどのリソグラフィーおよびコーティングトラックと互換性がありますが、設置時にはマウンティングインターフェースと制御信号を確認する必要があります。ソフトベークとハードベークのレシピを固定するために短い立ち上げ運転を計画し、その後、ボリュームをプッシュする前にプロセスウィンドウを確認してください。