クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター
スマートファブの適切な熱管理を実現するために
もし、インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の対流式オーブンではもはや十分ではないことに気づいているはずです。問題は、クリーンルーム内では空気の流れが汚染物質を運ぶ媒体になってしまうことです。それは避けたいものです。
そ...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
クラス100のクリーンルームで適切な温度管理を行うには(汚れを防ぎながら)
クラス100のクリーンルームで作業を行う際、最も避けたいのは、ヒーターから微粒子が発生してしまうことです。実際、このような状況は思った以上に頻繁に起こります。一般的なヒーターは、加熱や冷却の過程で剥がれ落ちたり、ガスを放出...
半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
スマートなファブ用カートを適切な温度にする方法(汚染を防ぎながら)
もし、現代的なスマートファブを構築するつもりなら、まず最初にやるべきことは、古くさい対流式の加熱装置を使わないことです。そうした装置は、このような用途には向いていません。半導体製造用のクリーンルームで使うカートには、短波赤外線を利...
クリーンルーム設備の更新が工場で行われている
単純な電球のせいでウエハーのバッチが台無しになってはいけません。
半導体製造工場で照明や加熱装置を更新するとき、単に古い電球を新しいものに交換するだけではありません。そんなことはあり得ません。
実際には、微小なアークや漏れ電流が発生すれば、一連のウエハーがダメになってしまう可能性があります。これは...
リビング用ヒーター
オフグリッドでの生活において、キャンドルウックの臭いは単なる迷惑なだけではありません。それは微粒子や残留する臭いの原因となり、また空気中の酸素も奪われてしまいます。電源が途切れると、部屋はすぐに湿気っぽく静かになり、その結果、快適さを失うだけでなく、頭痛も引き起こされます。そこで、私たちはキャンド...
クリーンルーム用赤外線ヒーター
ファブフロアでは、フォトレジストベーク中の0.5℃のドリフトでさえ、クリティカル寸法がナノメートル単位でずれ、パーティクル数の増加を引き起こします。当社のクリーンルーム用赤外線ヒーターは、そのドリフトを根本から抑制するために設計されています。ウェーハ上の熱プロファイルに直接追従し、チャンバー内の空...
静かな室内ヒーター
電力とサイズについて このサイレントルームヒーターについて説明します。400V、2500Wのハロゲンワークホースとして設計しました。この高電圧は単なる仕様ではなく、電気システムに負荷をかけずに強力な熱を供給することを意味しています。
サイズに関しては、300mmのチューブは意図的にコンパクトに設計...
赤外線ルームヒーター
ハードワークのために作られた:電力、電圧、出力 正直に言おう—この赤外線ヒーターは居心地の良いリビングルーム向けではない。産業現場の過酷な環境に耐えるために作られている。
400Vで動作し、これは賢い選択だ。同じワット数の230V機器よりも電流の引き込みが少なくて済む。つまり、より細い配線や小さい...