半導体ヒーター用熱電対

クリーンルームが爆発しないようにするために：赤外線ヒーターと揮発性化学物質 半導体ウェハを化学的に洗浄する際に加熱するとき、非常に慎重な対応が求められます。正確な温度制御が必要ですが、同時に爆発を引き起こしてはなりません。 可燃性や爆発性のある蒸気が存在する環境では、通常の赤外線ランプは単なる工具...