ファブ内では、フォトレジストの焼成は単なるアドバイスではなく、必須のプロセスです。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変動するだけで、製品の寸法に影響が出たり、不純物が残ったりして、多くの製品が廃棄処分になってしまいます。石英ヒーターチューブこそが、シフトを重ねても一定の温度を維持するための重要な要素です。
内部で何が重要か
私たちは、ファブの高温環境に耐えられるように石英ヒーターチューブを設計しています。ドアが頻繁に開閉されても、迅速に反応し、安定した出力を保ちます。短波赤外線により、熱が必要な場所に正確に届きます。熱慣性が少ないため、再現性の高い焼成が可能になります。 ウェーハ全体において、温度のばらつきは±0.1°C以内に抑えられているため、どのロットでも同じ条件で焼成が行われます。石英製の本体は、粒子を一切発生させないように設計されており、クリーンルームのクラス1～100の基準を満たします。実際の現場では、これらの装置は5,000時間以上稼働しても、引き続き高い出力精度を維持します。
なぜこれがリソグラフィーに重要か
リソグラフィーラインでは、午前2時でも午後2時と同じように、フォトレジストの焼成を一定に保つ必要があります。これらのチューブは、オーブンの温度を迅速に調整できるため、ウォームアップや回復時間を短縮できます。また、速度を追求することで精度を犠牲にすることもありません。 その結果、1日あたりの生産量が増え、再作業や廃棄物が減少します。また、ヒーターが設定温度にすぐ到達し、その温度を維持できるため、エネルギーも節約できます。ソフトベイクやハードベイクがウェーハやツールに関係なく再現可能であれば、プロセスの幅が広がります。
実用的な詳細
取り付けは簡単ですが、オーブンのインターフェースと適合させる必要があります。取り付けブラケットの間隔や端子ブロックの種類、コントローラーのサーミスタの種類やPID制御の範囲を確認してください。 石英素子は繊細な部品なので、触れないようにし、常に清潔に保つ必要があります。熱膨張や空気の流れを考慮して、 hot spotが発生しないようにしましょう。乾燥したガス環境で使用すると、特に湿度の高いファブでの寿命が延びます。