クラス100のクリーンルームで作業する際には、「ほぼ清潔」という状態では不十分です。わずかなほこりの破片や、ヒーターから出る微量のガスだけで、ウェーハが損傷したり、センサーが壊れたりしてしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。 そのため、私たちは高純度の合成石英を使った赤外線ランプを使用します。...

精密なIR加熱による二酸化炭素削減 半導体工場で作業を行う際、温度というのは単なる設定値ではありません。それはすべてを左右する要素です。わずかな誤差があっても、そのロット全体が使い物にならなくなってしまいます。 私たちは、短波長のIR加熱が最適な方法だと気づきました。なぜでしょうか？それは、ウェー...

MEMSウェーハの乾燥において、熱風の代わりに赤外線を利用する 長い間、MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるための一般的な方法は、その表面に熱風を当てることでした。これは古くから使われてきた方法です。つまり、対流によって熱が表面に伝わり、そうすることで水分が蒸発するのを待つというわけです。 しか...

水素センサーヒーター：QCでの安全性を確保するための高電圧ソリューション 私たちは、水素センサー用の加熱要素を製造しており、その重要性は十分に理解しています。出荷される各センサーチューブは、厳しい電気的安全性試験を経なければなりません。つまり、100％の絶縁耐力試験や絶縁抵抗試験が必要となるのです...

製造現場では、焼成温度が半度だけ変動しても、回路の寸法にナノメートル単位の影響が生じ、良品が不良品に変わってしまうことがあります。歩留まりを管理するには、単なる希望に頼るのではなく、プロセス自体が要求する以上に厳格に温度制御を行う必要があります。私たちは、そのような状況に対応するために、特別な温度...

ライン上ではリズムが途切れない。バイオセンサー用ウェーハはコートから露光へ、そしてベイクトラックへと流れていく。フォトレジストは毎回、厳密な温度範囲内で適切な温度に達していなければならない。数度のズレ、フィールド全体のホットスポットが生じると、ライン幅制御を失い、膜に応力を残し、最悪の場合は歩留ま...