熱を無駄にしないで：なぜ金コーティングされた反射板が重要なのか
半導体製造工場では、熱がすべてです。しかし問題は、通常のIRランプはエネルギーをあちこちに散らしてしまうという点です。適切な反射板がなければ、支払った電力が単に装置の内部に消えてしまいます。これは明らかな無駄遣いです。
だからこそ、私たちは金コーティングされた反射板を使用するのです。それは装置を見栄えよくするためではありません。IR光を必要な場所、つまりウェーハに直接届けるためです。
なぜ金なのか？
一般的にはアルミニウムが使われますが、それでも十分機能します。しかし、硬化用ランプが放出する長波および中波のIR光に対しては、金の方が優れています。金は熱を吸収せず、逆に反射してくれます。その結果、1平方センチメートルあたりに届くワット数が増えます。つまり、より少ない労力でより強い熱を得られるのです。
難しい点：熱と電力
高ワット数のランプを使用すると、莫大な熱が発生します。迅速な作業が求められますが、その強度はクォーツ製のケースにとっては厳しいものです。もし電源がランプの電圧に完全に合っていなければ、状況はすぐに悪化します。結果として、均一でない加熱や、最悪の場合はランプの破損につながります。また、ウェーハに当たらない熱を処理するために、十分な冷却システムが必要です。これを怠ると、装置自体が壊れてしまいます。
ラインへの導入
私たちは、停止時間を避けるために、これらをそのまま交換可能な形で作りました。一貫性を保つため、真空蒸着法を用いて金をコーティングします。これにより、コーティングが全体に均一に行われ、「ホットスポット」やウェーハの変形が起きません。純粋で安定した熱が得られます。
ただし、一つ注意点があります。金は少しデリケートです。もし工場内に腐食性のガスがあると、コーティングが劣化してしまいます。コーティングが剥がれたり凹んだりすると、効率が低下します。定期的にフラックスの状態をチェックすることが大切です。そうすれば、気づかないうちに効率が低下するのを防げます。