クリーンルーム用赤外線ヒーター

ファブフロアでは、フォトレジストベーク中の0.5℃のドリフトでさえ、クリティカル寸法がナノメートル単位でずれ、パーティクル数の増加を引き起こします。当社のクリーンルーム用赤外線ヒーターは、そのドリフトを根本から抑制するために設計されています。ウェーハ上の熱プロファイルに直接追従し、チャンバー内の空...