ファブ内での二酸化炭素削減：なぜ金メッキされたIRランプが有効なのか もし半導体ファブで働いたことがある人なら、温度制御の難しさをよく知っているはずです。うまくいかないとウェーハが変形してしまいます。本当に厄介な問題です。私たちの多くは昔ながらの抵抗式のオーブンを使ってきましたが、正直なところ、そ...

リソグラフィー工程において、焼成温度が0.5°C変動するだけで、フォトレジストの特性にナノメートル単位の影響が生じます。そのわずかな変動が、最終的には歩留まりの低下につながります。熱管理が不可欠な工程において、私たちはツインチューブ式の赤外線ヒーターを開発しました。これにより、一般的な熱処理装置と...

ファブ内では、フォトレジストの焼成は単なるアドバイスではなく、必須のプロセスです。ソフトベイクやハードベイクの温度が2°C変動するだけで、製品の寸法に影響が出たり、不純物が残ったりして、多くの製品が廃棄処分になってしまいます。石英ヒーターチューブこそが、シフトを重ねても一定の温度を維持するための重...