ウェーハ処理装置用温度センサー

製造現場では、焼成温度が半度だけ変動しても、回路の寸法にナノメートル単位の影響が生じ、良品が不良品に変わってしまうことがあります。歩留まりを管理するには、単なる希望に頼るのではなく、プロセス自体が要求する以上に厳格に温度制御を行う必要があります。私たちは、そのような状況に対応するために、特別な温度...