ウェーハ用高精度IRセンサー

精密なIR加熱による二酸化炭素削減 半導体工場で作業を行う際、温度というのは単なる設定値ではありません。それはすべてを左右する要素です。わずかな誤差があっても、そのロット全体が使い物にならなくなってしまいます。 私たちは、短波長のIR加熱が最適な方法だと気づきました。なぜでしょうか？それは、ウェー...