極端紫外線 EUV レジストヒーター部品

リソグラフィーの工程において、EUVレジストの処理では、温度変動が許されません。ソフトベイクの際に温度が少し高くなっても、ハードベイクの際にウェーハ全体の温度がばらついても、生産性は低下してしまいます。このような問題は静かに進行し、繰り返し発生します。レジストの下にあるヒーターは、粒子を発生させた...