クラス100のクリーンルームで作業する際には、「ほぼ清潔」という状態では不十分です。わずかなほこりの破片や、ヒーターから出る微量のガスだけで、ウェーハが損傷したり、センサーが壊れたりしてしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。
そのため、私たちは高純度の合成石英を使った赤外線ランプを使用します。
物理的な理由としては、通常のヒーターは、温度がピークに達するとすぐに有害な有機化合物（VOC）を放出してしまいます。しかし、このランプはそうではありません。高い水酸基含有量を持つ熔融石英を使用しているため、圧力がかかっても壊れることはありません。石英管をまるで金庫のように考えればよいでしょう。これにより、タングステンフィラメントが漏れ出ることがなく、クリーンな空気が保たれます。
センサーの包装に関しては、短波長の赤外線を利用します。これにより、包装材料をより深く、より速く貫通できます。また、高純度のエンドキャップや密閉構造を使用することで、ハロゲンガスが漏れ出る心配もありません。
ただし、注意点があります。電力密度には気をつけてください。これらのランプは、ごく小さな空间に大量の熱を蓄えています。直射で使用すると、その熱によってセンサーの筐体が損傷したり、基板が割れたりする可能性があります。ですから、徐々に電力を上げていくのが良いでしょう。
また、これらのランプは精密なジグに直接取り付けられるように設計されているため、設置が簡単です。しかし、高純度の石英は脆いため、注意が必要です。
どうしても手で触れざるを得ない場合でも、絶対に素手で触らないでください。皮膚から出る油分が原因で、微小な発熱点が生じ、それが原因でランプが早く壊れてしまいます。
要するに、これらのランプは最もクリーンな方法で熱を供給できますが、代償もあります。合成石英は高価であり、電圧の管理も慎重に行う必要があります。電源にノイズがあると、フィラメントが焼けてしまいます。
最後に、高耐熱性のケーブルを使用しましょう。製品の近くでケーブルからガスが漏れ出るのは避けたいものです。