RTPヒーターランプの交換方法

ライン上で、減光し始めたRTPランプはスケジュールを破壊する要因となる。ウェハー乾燥が途切れ、フォトレジストベークの温度が逸脱し、パッケージングの硬化サイクルが再現性を失う。予期せぬダウンタイムの1分1秒は、単に部品数の損失だけでなく、熱予算を消費し、プロセス制御に悪影響を及ぼす。 現場で設計に重...