なぜ赤外線硬化法が無鉛半導体製造に最適なのか 正直に言えば、溶剤を使用した乾燥法はもう時代遅れです。完全にラインのスピードを落とすことなく、「無鉛」や「環境に優しい」という目標を達成したいのであれば、おそらく赤外線ランプを検討しているはずです。特に、洗浄工程用に設計された防水タイプのものです。 熱...

製造ライン上では、リンス・ドライヤーはクリーニング工程とリソグラフィ工程のちょうど中間に位置しています。たとえ0.5℃程度の温度変動でも、ウェーハに水跡が残ったり、最悪の場合、ハードベイク後にフォトレジストが流れ出してしまったりする可能性があります。私たちは、このリンス・ドライヤー用に特別に設計さ...