スマートファブの適切な熱管理を実現するために もし、インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の対流式オーブンではもはや十分ではないことに気づいているはずです。問題は、クリーンルーム内では空気の流れが汚染物質を運ぶ媒体になってしまうことです。それは避けたいものです。 そ...

単純な電球のせいでウエハーのバッチが台無しになってはいけません。 半導体製造工場で照明や加熱装置を更新するとき、単に古い電球を新しいものに交換するだけではありません。そんなことはあり得ません。 実際には、微小なアークや漏れ電流が発生すれば、一連のウエハーがダメになってしまう可能性があります。これは...