双管镀金灯管
如何在芯片制造过程中减少碳排放?为何镀金处理的红外线灯能起到作用呢? 如果你曾在半导体制造厂工作过,那么你一定知道控制温度的重要性。如果控制不当,芯片就会变形,那可真是噩梦啊。我们大多数人都是用那种传统的电阻式加热器来加热的,但说实话,它们其实只是浪费大量能源的“大号电暖器”而已。 我们找到了更好...
双管红外加热灯
在光刻工艺中,如果烘烤温度有0.5℃的波动,那么光阻层的厚度就会发生纳米级的变化——而这种微小的变化会导致产品合格率下降。因此,我们设计了双管式红外加热灯,用于那些对温度控制要求极高的工序。这种加热灯能够填补传统加热设备与工艺所需精确温度控制之间的差距,确保晶圆各处的温度都得到精确控制。
系统的工...