涂覆剂显影用红外线加热器

在光刻工艺中，哪怕温度出现0.2°C的微小变化，都可能影响光刻图形的精度，进而导致产品良率下降。涂胶/显影工序需要稳定的热量供应，这样才能确保晶圆在经过软烘烤和硬烘烤过程时，其温度始终保持在恒定状态。如果红外加热器出现故障，就会导致废品增加、需要重新加工，还会造成生产中断。 关键在于： 我们设计的...