晶圆加工设备用温度传感器

在晶圆制造过程中，如果烘焙温度出现半度的偏差，就可能导致关键尺寸发生纳米级的变化，从而让原本合格的晶圆变成废品。因此，无法仅凭运气来保证成品率，而必须通过更严格的温度控制来实现这一目标。我们设计的温度传感器正是为应对这种状况而打造的。 从技术层面来看，什么才是最重要的？ 在光刻胶处理过程中，我们要...