如何更换RTP加热灯泡

在线生产线上，开始变暗的RTP灯是生产计划的杀手。晶圆干燥效果不稳定，光刻胶软烘偏移，封装固化周期失去重复性。每一分钟的计划外停机不仅影响产量，还消耗热预算，削弱工艺控制。 我们在现场设计的目标 我们设计替换用RTP加热灯时，聚焦于真正重要的因素：快速热响应和均匀性控制。卤素元件提供稳定的短波输出...