在MEMS晶圆干燥过程中，放弃热风干燥，转而使用红外线加热。 长期以来，人们一直采用向MEMS传感器晶圆上吹热风的方式来干燥它们。这是一种传统的方法，其原理是利用对流效应将热量传递到晶圆表面，从而让水分蒸发。 但这种方法效率极低。需要等待数分钟，才能让热量渗透到MEMS晶圆上的细微结构中。这无疑成...

为什么合适的红外灯能助力提升装配线的生产效率？ 我们生产的晶圆干燥灯，就是为大规模的装配和测试环节而设计的。道理很简单：帮助您更快地完成更多产品的加工，同时不会增加过多的成本。 当我们说“铸造级”时，我们并非在夸夸其谈。我们指的是产品具有极高的重复性——如此一来，生产线就能持续稳定地运转下去。 功...

在CMP工艺之后，水分和颗粒物的重新沉积仍然会导致产品良率下降。通常，造成这一问题的原因是干燥过程中的温度控制不稳定。我们设计的CMP后晶圆干燥装置旨在消除这种不稳定性，而非加剧它。 从技术层面来看，关键点在于： 我们在石英窗口后面设置了短波红外元件，这样能量就可以直接且快速地作用于晶圆上，而不会...

在柔性显示制造线上，产量依赖于热控制。即使是漂移2°C的软烘烤也会影响CD均匀性。过热或过冷的硬烘烤会使光刻胶轮廓不可预测，蚀刻转移变得不整齐。烘干灯不仅仅是一种热源——它必须表现得像一个合适的工艺仪器。 关注内部细节：我们围绕近红外（NIR）构建了烘干灯，配备石英光学元件以实现快速、非接触加热。...