高能效晶圆加热器

在清洗晶圆时，如何确保安全？ 当在化学清洗线中对晶圆进行加热处理时，其实就相当于在玩火——或者至少是在处理那些容易爆炸的蒸汽。普通的红外灯根本无法承受这样的压力，使用它们只会带来灾难性后果。 为了解决这个问题，我们给发热元件加上了特殊的防护层。这样既能防止化学物质接触到热源，又能让热量顺利传递到需...