无臭氧红外线灯

停止为机器本身加热，改为直接为晶圆加热 大多数红外灯的加热方式相当混乱——它们会将热量向四周散发，即360度全方位扩散。在处理精密的半导体设备时，这无疑是个问题。 大部分能量根本无法照射到晶圆上，而是直接击中机器的内壁。结果就是，机器的壳体会变得非常烫，甚至可能烫伤操作员的手；同时，冷却风扇也必须...