X射线衍射 XRD 加热灯

在计量车间，XRD 测量的稳定性取决于台面的热稳定性。仅0.5°C的漂移就会影响晶格参数的结果，这是导致晶圆返工和光刻烘烤参数超出规格的常见原因。我们设计的XRD加热灯就是为从根本上控制这种不确定性而设。 核心技术细节 该加热灯采用石英封装内的短波红外元件，热量直接耦合到夹具，且具有低热质量特性。...