クラス100のクリーンルームで適切な温度管理を行うには（汚れを防ぎながら）
クラス100のクリーンルームで作業を行う際、最も避けたいのは、ヒーターから微粒子が発生してしまうことです。実際、このような状況は思った以上に頻繁に起こります。一般的なヒーターは、加熱や冷却の過程で剥がれ落ちたり、ガスを放出したりします。これは、作業環境を清潔に保とうとする人々にとっては悪夢のような状況です。
私たちは、赤外線ランプに高純度の溶融石英を使用することで、この問題を解決しました。
なぜこれが効果的か
秘密は、汚染物質が発生する前にそれを防ぐことです。私たちは、微細な金属不純物を取り除いた石英製のケースを使用しています。そうすることで、早期の劣化や表面の損傷が防げ、結果として微粒子の発生も防がれます。
そして最も良い点は、対流ではなく赤外線を利用しているため、空気が動かないということです。空気が動かないということは、ほこりがワークピースに付着する心配がないということです。ほこりはその場に留まり続けます。
製造上のポイント
長持ちさせるために、フィラメントにはハロゲンを使用しています。また、すべてを高真空技術を用いて密封するため、漏れの心配もありません。
配線に関しては、通常は金メッキや高品質のステンレス鋼を使用します。なぜかというと、接続部での酸化が微粒子の発生の原因になるからです。これらの材料を使用することで、そのリスクを大幅に減らすことができます。
配線自体は簡単です。標準的なR7やSk15ソケットに直接装着できます。しっかりと固定されているため、装置が振動しても緩む心配はありません。つまり、電気的な問題も発生しません。
注意すべき点
これらのランプは大量の熱を放出します。急速に温度が上昇しますが、冷却ファンやヒートシンクが十分に機能しているかを確認する必要があります。もしベンチの換気が不十分だと、熱が蓄積し、装置が変形してしまう可能性があります。
私たちは、これらのランプを既存のベンチにそのまま交換できるように設計しました。ウェーハや光学部品を傷つける心配なく、安定した温度を維持できます。
**ちょっとしたヒント：**石英管を常に清潔に保ってください。もしガラス面に指紋が残ってしまうと、その油分が残り、熱点ができてしまいます。熱点は石英管が割れる原因になります。軽く拭き取るだけで大丈夫です。