ツインチューブ式赤外線ヒーターランプ

リソグラフィー工程において、焼成温度が0.5°C変動するだけで、フォトレジストの特性にナノメートル単位の影響が生じます。そのわずかな変動が、最終的には歩留まりの低下につながります。熱管理が不可欠な工程において、私たちはツインチューブ式の赤外線ヒーターを開発しました。これにより、一般的な熱処理装置と...