ファブ内での二酸化炭素削減：なぜ金メッキされたIRランプが有効なのか
もし半導体ファブで働いたことがある人なら、温度制御の難しさをよく知っているはずです。うまくいかないとウェーハが変形してしまいます。本当に厄介な問題です。私たちの多くは昔ながらの抵抗式のオーブンを使ってきましたが、正直なところ、それらは巨大なヒーターに過ぎず、大量のエネルギーを無駄に消費しています。
私たちはより良い方法を見つけました。
秘訣は金にあります
その仕組みは次の通りです。石英管の内部に金をコーティングするのです。
なぜ金なのか？それは金が鏡のように機能するからです。熱が機械の筐体全体に広がって部屋全体が温められる代わりに、金が赤外線をウェーハに直接届けます。つまり、必要な場所に集中した熱を与えることができるのです。
さらに、二重管構造を採用しています。同じスペースに2つの加熱要素を配置することで、より多くのワット数を得ることができます。これにより、処理時間が大幅に短縮されます。
注意すべき点
ただし、これは単純に「接続すれば使える」というものではありません。
このランプは狭い範囲に大量のエネルギーを集中させるため、電源装置はその急激な電流に対応できる必要があります。また、非常に高温になるため、冷却ファンを十分に設置する必要があります。空気の流れが悪いと、ソケットが壊れたり、ランプ自体が破損したりします。これは強力なツールですが、適切に扱う必要があります。
実際に「グリーン」目標を達成する
私たちはカーボンニュートラルについてよく話しますが、ファブ内でそれを実現するのは難しいです。
ここでの最大の利点は、「ウォームアップ時間」をなくすことです。ウェーハが届く前から巨大なチャンバーを24時間365日高温状態に保つ必要がなく、ウェーハが入った瞬間に加熱を始めるだけです。
これは、全体を加熱する方式から、目的の場所だけを加熱する方式へのシフトです。1枚のウェーハあたりの電力消費量が減り、電気代も下がり、炭素排出量も減少します。そして、生産速度を落とす必要もありません。