클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 “거의 깨끗하다”는 수준으로는 충분하지 않습니다. 아주 작은 먼지 조각이나 히팅 요소에서 나오는 기체만으로도 웨이퍼가 손상되거나 센서가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황이죠. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 인파라레드 램...

정밀한 적외선 가열로 탄소 배출을 줄이다 반도체 공장에서 작업할 때, 온도는 단순한 설정값이 아니라 모든 것을 결정하는 요소입니다. 조금만 오차가 생겨도 전체 제품이 폐기되어 버립니다. 우리는 단파 적외선 가열이 최적의 방법이라는 것을 알아냈습니다. 왜냐하면 이 방식...

MEMS 웨이퍼 건조에 있어서 뜨거운 공기 대신 적외선을 사용하는 방식 오랫동안 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 가장 일반적인 방법은 뜨거운 공기를 웨이퍼 위로 불어주는 것이었습니다. 이는 구식의 방법입니다. 기본적으로 대류 현상을 이용해 열을 웨이퍼 표면으로 전달...

수소 센서 히터: QC 과정에서 안전을 보장하는 고전압 솔루션 우리는 수소 센서에 사용되는 가열 요소를 제작합니다. 그렇기 때문에 이 분야에서의 신뢰성이 매우 중요합니다. 출하되는 모든 센서는 엄격한 전기 안전 검사를 거쳐야 합니다. 즉, 100%의 절연 내력 및 절...

팹에서는, 베이킹 온도가 0.5도만 변해도 치명적인 오차가 발생하여 제품의 품질이 떨어지고 결국 폐기되는 경우가 있습니다. 수율을 관리하는 것은 운에 맡길 수 없습니다. 공정 자체가 요구하는 수준보다 더 엄격하게 온도를 제어함으로써만 수율을 관리할 수 있습니다. 우리...

라인에서는 리듬이 끊임없이 이어진다. 바이오센서 웨이퍼가 코팅에서 노광으로, 그리고 베이크 트랙으로 흐른다. 포토레지스트는 항상 정확한 온도에서 도포되어야 하며, 그 허용 범위는 매우 좁다. 몇 도의 온도 편차나 필드 내 핫스폿 발생은 선폭 제어를 잃게 하고, 필름에...