MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼 건조에 있어서 뜨거운 공기 대신 적외선을 사용하는 방식 오랫동안 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 가장 일반적인 방법은 뜨거운 공기를 웨이퍼 위로 불어주는 것이었습니다. 이는 구식의 방법입니다. 기본적으로 대류 현상을 이용해 열을 웨이퍼 표면으로 전달...