클린룸 적외선 히터

팹 플로어에서, 포토레지스트 베이크 시 0.5°C의 온도 변화만으로도 치수 왜곡이 나노미터 단위로 발생하고 입자 수가 증가할 수 있습니다. 우리는 이러한 변동을 근본적으로 차단하기 위해 클린룸 적외선 히터를 설계했습니다. 이는 챔버 공기뿐만 아니라 웨이퍼 표면의 열...