팹 램프용 석영 유리 실드

왜 석영으로 만들어진 IR 램프가 반도체 제조 공정에서 그토록 중요한지 만약 여전히 핫에어 순환 방식을 사용한다면, 그건 마치 기다리는 것과 같습니다. 웨이퍼가 따뜻해지기 전에 먼저 챔버 내의 모든 공기를 가열해야 합니다. 이는 매우 느리고 번거로운 과정입니다. 반면...