DNS(스크린) 웨이퍼 건조용 램프

리소그래피 공정에서는, 그 300mm 웨이퍼가 DNS 세척기에서 나온 직후 사진감광제를 도포하기 위해 대기 상태에 있습니다. 이 공정에서는 ±0.5°C의 온도 변동조차 허용되지 않으며, 클린룸 내에는 불필요한 입자들도 존재해서는 안 됩니다. 온도가 조금이라도 변하면...