MEMS 웨이퍼 건조에 있어서 뜨거운 공기 대신 적외선을 사용하는 방식 오랫동안 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 가장 일반적인 방법은 뜨거운 공기를 웨이퍼 위로 불어주는 것이었습니다. 이는 구식의 방법입니다. 기본적으로 대류 현상을 이용해 열을 웨이퍼 표면으로 전달...

왜 적절한 IR 램프가 조립 공정에서 수익성을 높여주는지 우리는 오직 한 곳, 바로 대량 생산 및 테스트가 이루어지는 곳을 위한 웨이퍼 건조용 램프를 제작합니다. 아주 간단한 원리죠. 핵심은, 과도한 비용을 들이지 않고도 더 많은 제품을 생산할 수 있도록 돕는 것입니...

CMP 공정 이후에도 워터마크나 입자가 다시 쌓이는 문제로 인해 생산성이 저하됩니다. 대부분의 경우, 그 원인은 건조 과정에서의 불안정한 온도 변화 때문입니다. 우리는 이러한 변수들을 제거하기 위해 CMP 이후의 웨이퍼 건조용 히터를 개발했습니다. 기술적으로 중요한...

유연 디스플레이 라인에서의 열 제어에 따른 수율 소프트 베이크가 2°C만 변동해도 CD 균일성이 떨어집니다. 하드 베이크가 너무 뜨겁거나 차가우면 저항 프로파일이 예측할 수 없게 되고, 에칭 전이도 불규칙해집니다. 건조 램프는 단순한 열원일 수 없으며, 적절한 공정...