정밀한 적외선 가열로 탄소 배출을 줄이다 반도체 공장에서 작업할 때, 온도는 단순한 설정값이 아니라 모든 것을 결정하는 요소입니다. 조금만 오차가 생겨도 전체 제품이 폐기되어 버립니다. 우리는 단파 적외선 가열이 최적의 방법이라는 것을 알아냈습니다. 왜냐하면 이 방식...

웨이퍼를 세척할 때 안전을 유지하는 방법 화학적 세척 과정에서 웨이퍼를 가열할 때는 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 적어도 폭발하기 쉬운 증기를 다루는 셈이죠. 일반적인 적외선 램프는 그러한 극한의 환경을 견딜 수 없습니다. 그런 상황에서는 재앙이 발생할 수 있습니...

웨이퍼에 더 많은 열을 전달하는 방법 (에너지 낭비 없이) 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 사실상 에너지 손실과의 싸움이 필요합니다. 문제는 표준적인 석영 램프는 열을 360도 방향으로 방출한다는 점입니다. 만약 반사판이 없다면, 전력의 절반이 그냥 기계의 체계 안으로...

웨이퍼를 가공할 때는 균형을 맞추는 것이 중요합니다. 화학적으로 안정적인 상태를 유지하기 위해서는 적절한 열이 필요하지만, 너무 많은 열을 가하면 기판이 변형될 수 있습니다. 이는 마치 줄타기와 같은 일입니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 램프와 특수한 반...

MEMS 웨이퍼 건조에 있어서 뜨거운 공기 대신 적외선을 사용하는 방식 오랫동안 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 가장 일반적인 방법은 뜨거운 공기를 웨이퍼 위로 불어주는 것이었습니다. 이는 구식의 방법입니다. 기본적으로 대류 현상을 이용해 열을 웨이퍼 표면으로 전달...

왜 적절한 IR 램프가 조립 공정에서 수익성을 높여주는지 우리는 오직 한 곳, 바로 대량 생산 및 테스트가 이루어지는 곳을 위한 웨이퍼 건조용 램프를 제작합니다. 아주 간단한 원리죠. 핵심은, 과도한 비용을 들이지 않고도 더 많은 제품을 생산할 수 있도록 돕는 것입니...

팹에서는, 베이킹 온도가 0.5도만 변해도 치명적인 오차가 발생하여 제품의 품질이 떨어지고 결국 폐기되는 경우가 있습니다. 수율을 관리하는 것은 운에 맡길 수 없습니다. 공정 자체가 요구하는 수준보다 더 엄격하게 온도를 제어함으로써만 수율을 관리할 수 있습니다. 우리...

공정 현장에서 웨이퍼 프로빙 중 발생하는 한 번의 온도 편차는 단순히 사이클 타임만 지연시키는 것이 아니다. 그것은 다이를 폐기 처리하게 만들고, 수율에 큰 타격을 주며, 라인의 정확성을 유지하기 위한 규율을 무너뜨린다. 웨이퍼 프로브 히터는 미세 입자를 배출하지 않...