半導体デバイス評価用ヒーター

生产线においては、温度というのは単なる目安ではなく、実際のプロセスを左右する要素です。フォトレジストのソフトベイク中に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。大量生産の工場では、このような温度変動は理論上の話にとどまりません。実際には、不良品が生じてしまいます...