半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

スマートなファブ用カートを適切な温度にする方法（汚染を防ぎながら） もし、現代的なスマートファブを構築するつもりなら、まず最初にやるべきことは、古くさい対流式の加熱装置を使わないことです。そうした装置は、このような用途には向いていません。半導体製造用のクリーンルームで使うカートには、短波赤外線を利...