MEMSウェーハの乾燥において、熱風の代わりに赤外線を利用する 長い間、MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるための一般的な方法は、その表面に熱風を当てることでした。これは古くから使われてきた方法です。つまり、対流によって熱が表面に伝わり、そうすることで水分が蒸発するのを待つというわけです。 しか...

なぜ適切なIRランプが、組立ラインで生産性を静かに向上させるのか 私たちがウェーハ乾燥用ランプを製造するのは、大量生産やテストが行われる場所だけです。それがすべてです。 つまり、コストを増やすことなく、より多くの製品を生産できるようにするのです。 「ファウンドリグレード」という言葉を使うとき、私た...

CMP処理後には、ウォーターマークや粒子の再付着が依然として歩留まりを低下させる要因となっています。多くの場合、その原因は乾燥時の不安定な温度プロファイルにあります。私たちは、このような不確実性を排除するために、CMP処理後のウェハ乾燥用ヒーターを開発しました。つまり、不確実性を増大させるのではな...

フレキシブルディスプレイラインにおける熱制御の重要性 フレキシブルディスプレイラインでは、熱制御が重要な要素となります。たとえば、2°Cの変動があるソフトベークはCDの均一性を損ないます。温度が高すぎるまたは低すぎるハードベークは、レジストプロファイルを予測不可能にし、エッチング転送が不均一になり...