デジタル赤外線乾燥機コントローラー
化学洗浄ラインで火災が起きる前にそれを防ぐ方法
正直に言って、可燃性の化学物質の周りで赤外線ヒーターを使うのはとても危険です。わずかな火花やクォーツ管の微細な亀裂があれば、単なる故障に留まらず、大惨事につながります。
問題は、一般的な赤外線ランプはこのような環境には適していないということです。だか...
薄膜太陽電池用乾燥ランプ
フィルム型太陽電池の場合、熱変動の余地はほとんどありません。フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動が生じるだけで、応力が変わり、リフローのタイミングも変わり、結果としてデバイスの効率が低下します。したがって、温度を単なる推定値ではなく、制御可能なパラメータとして扱えるドライヤーランプが必要...
ウエハー洗浄乾燥機用クォーツヒーター
製造ライン上では、リンス・ドライヤーはクリーニング工程とリソグラフィ工程のちょうど中間に位置しています。たとえ0.5℃程度の温度変動でも、ウェーハに水跡が残ったり、最悪の場合、ハードベイク後にフォトレジストが流れ出してしまったりする可能性があります。私たちは、このリンス・ドライヤー用に特別に設計さ...
FOUP フロントオープニングユニファイドポッド ドライヤー
リソグラフィ工程フロアで、FOUPを開けるとリスクが視認する前に襲いかかる。残留水分。ロット全体で温度が均一でないフォトレジスト。わずか2℃のソフトベイクのズレで、数時間にわたりライン幅の逸脱を追いかけることになる。高量産ファブでは、この種の熱変動はライン上に現れるだけでなく、不良品と予期せぬダウ...