省エネ型ウェーハヒーター

ウェーハを清潔にする際に、安全性を保つためにはどうすればよいのでしょうか？ 化学的な洗浄処理を行う際、ウェーハを加熱するということは、まるで火を扱っているようなものです。少なくとも、爆発しやすい蒸気を扱っているのと同じです。通常の赤外線ランプでは、このような過酷な環境に耐えられません。そうなると大...