FOUP フロントオープニングユニファイドポッド ドライヤー

リソグラフィ工程フロアで、FOUPを開けるとリスクが視認する前に襲いかかる。残留水分。ロット全体で温度が均一でないフォトレジスト。わずか2℃のソフトベイクのズレで、数時間にわたりライン幅の逸脱を追いかけることになる。高量産ファブでは、この種の熱変動はライン上に現れるだけでなく、不良品と予期せぬダウ...