UHP(초고순도) 히터 램프

램프의 고장과 웨이퍼 오염에 대해 이야기해보죠. 반도체 제조 공정에서 램프가 고장나는 것은 정말 큰 문제입니다. 단순히 하드웨어가 파손되는 것뿐만 아니라, 그로 인해 발생하는 혼란도 심각합니다. 석영관이 과도한 부하를 견디지 못하면, 그 조각들과 입자들이 웨이퍼 위로...