用于光刻机的石英玻璃防护罩
为什么石英屏蔽型红外灯在半导体制造过程中如此重要?
如果你仍然依赖热空气循环来进行半导体加工,那其实只是在等待而已。你必须先让整个腔室内的空气都变热,工件才能开始升温。这个过程既缓慢又繁琐。
而采用红外加热则完全不同。无需等待风扇将热空气吹遍整个腔室,只需将电磁辐射直接照射到基片上即可。这就好比用...
用于制造炉的石英加热管
在芯片制造工厂中,光刻胶的烘烤过程并非可选择性操作——它其实是至关重要的工艺参数。如果烘烤温度有2°C的波动,就可能导致关键尺寸出现偏差,还会产生杂质,进而使大量产品变成废品。石英加热管的作用就是确保这一温度参数的稳定性,从而保证每一批产品的质量。
核心要点 我们设计的石英加热管能够承受芯片制造炉...
用于晶圆冲洗干燥器的石英加热器
在芯片制造车间中,冲洗干燥机位于清洗步骤和光刻步骤之间。即使温度出现0.5°C的波动,也可能会在晶圆上留下痕迹;更糟糕的是,还可能导致光刻胶在高温处理后发生回流现象。我们专门为冲洗干燥机设计了石英加热器,因为在这一区域,热响应速度、清洁度以及重复性直接决定了产品的良率。
从技术角度来说,什么才是关...