半导体晶圆探针加热器

在晶圆测试过程中，一次温度偏差不仅仅是浪费周期时间。它会报废芯片，打击良率，破坏维持产线稳定所需的纪律性。晶圆探针加热器必须保持极高的热稳定性，同时不释放颗粒——因为任何额外的微粒都有可能引发接点桥连、短路或者潜伏故障。 关键指标 我们设计的晶圆探针加热器具备可重复的温度控制，并兼容洁净室要求。设...