用于半导体加热器的热电偶

如何避免洁净室发生爆炸：红外加热器与易挥发的化学物质 在用化学方法对半导体晶圆进行清洁时，需要极其精确地控制温度。不过，同时也要避免引发爆炸。如果处理的是易燃或易爆的蒸汽，普通的红外灯不仅无法起到有效的加热作用，反而可能成为引发事故的隐患。为了解决这个问题，我们不再只关注加热元件本身，而是着重考虑...