用于晶圆的精密红外传感器

利用精准的红外加热来减少碳排放 在半导体工厂中，温度并非只是一个需要调整的参数——它实际上决定着一切。哪怕只有一点点偏差，整个批次的产品都会报废。 我们发现，短波红外加热才是最佳解决方案。为什么呢？因为这种加热方式不会让晶圆周围的空气升温，而是将能量直接传递给晶圆本身。这样一来，就能大大降低能源消...