グローブボックス用赤外線ヒーター素子

シャードの発生を防ぐ：グローブボックスを清潔に保つために 高負荷の半導体製造を行っている方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。赤外線ランプが故障すると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェハー上に降り注ぎます。 問題は単に停止時間だけではありません。これは完全な汚染事故です。だからこそ...