ウェーハを清潔にする際に、安全性を保つためにはどうすればよいのでしょうか？
化学的な洗浄処理を行う際、ウェーハを加熱するということは、まるで火を扱っているようなものです。少なくとも、爆発しやすい蒸気を扱っているのと同じです。通常の赤外線ランプでは、このような過酷な環境に耐えられません。そうなると大混乱に陥ります。
これを解決するために、私たちは加熱要素を特別なケースで覆います。これにより、化学物質が熱源から離れている状態を保ちつつ、必要な場所には十分な熱が届きます。
秘密はシールにある
スパークの危険性を避けるため、私たちは石英管を耐薬品性の高いケースで覆い、電極接続部には完全なシールを施します。
なぜでしょうか？というのも、有害なガスがランプの内部に漏れ込むと、大きな問題が生じるからです。シールが壊れると、それは単なる技術的な故障ではなく、重大なリスクとなります。だからこそ、腐食性のある洗剤にも耐えられる材料を使用しているのです。
適切な温度を実現する
これらのヒーターは短波長の赤外線を利用しています。そのおかげで、ウェーハが「危険な温度領域」に長時間置かれることがありません。私たちは、ウェーハが適切な温度に達しつつ、容器が壊れないように、出力を丁寧に調整しています。注意点として、電源の電圧がランプの要求値と正確に一致していることが重要です。そうでないと、早期に故障する可能性があります。
設置と維持管理
これらのヒーターは、既存の洗浄装置に簡単に交換できるように作られています。
ただし、正直に言うと、単体のランプよりも少し大きいです。これは、防爆認証を得るための代償です。設置する前に、筐体の寸法をしっかり確認してください。一度設置したら、外側のケースに異常がないか常に注意しましょう。もし亀裂が見つかったら、すぐにランプを取り外してください。
また、洗浄機器はかなり振動するため、私たちは強化されたコネクタを使用しています。腐食性のある化学物質がある部屋内で、配線が緩んでアークが発生するのは避けなければなりません。これは当然のことです。